緊湊型下一代固態(tài)激光器在平臺(tái)中提供低噪聲、266 nm 連續(xù)波，采用易于集成到半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)環(huán)境的設(shè)計(jì)。 

Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對(duì)波長(zhǎng)穩(wěn)定功能。 它通過(guò) LAN 或 web GUI 進(jìn)行全自動(dòng)操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴(yán)苛的應(yīng)用。