傳統(tǒng)移相干涉儀使用壓電元件等移動參考平面來獲取干涉條紋的圖像，并計算相位分布。這種方法的缺點是單次測量至少需要100 毫秒，期間干涉儀與測量樣品之間會發(fā)生相對振動和空氣波動，導致干涉條紋發(fā)生波動，從而增加測量誤差。為了解決這些問題，DI 100 動態(tài)干涉儀采用了“動態(tài)干涉測量”技術，無需機械移動參考平面，一次圖像數據采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機的每個像素進行相移，可以穩(wěn)定地收集數據，并且由于一次測量的時間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動等而發(fā)生變化之前的瞬間進行測量。

產品特性

*動態(tài)干涉儀具有較強的抗干擾能力,能夠在振動、溫度變化、氣流等復雜環(huán)境中保持穩(wěn)定的測量結果。

*動態(tài)干涉儀能夠實現(xiàn)實時測量,適用于高速、動態(tài)的測量場景。

*超長光路的測量,通過結合補償法,可以克服超長光路造成的振動和大氣擾動的影響,實現(xiàn)超大口徑凹/非球面的精密檢測。
*動態(tài)干涉儀通過優(yōu)化光柵設計和光路設置,提高了光能量的利用率,解決了普通二維光在動態(tài)干涉術中光能量利用不足的問題。
*動態(tài)干涉儀通過改進光路設計,如使用Twin-PBS結構,可以有效消除測量光路中PBS膠合層所引入的寄生條紋誤差。

*動態(tài)干涉儀可以測量多個物理參數,如位移、氣流等,提供全面的測量數據。

D1 100

  D1 100測量軟件

產品型號及技術指標