傳統(tǒng)移相干涉儀使用壓電元件等移動(dòng)參考平面來獲取干涉條紋的圖像，并計(jì)算相位分布。這種方法的缺點(diǎn)是單次測量至少需要100 毫秒，期間干涉儀與測量樣品之間會(huì)發(fā)生相對振動(dòng)和空氣波動(dòng)，導(dǎo)致干涉條紋發(fā)生波動(dòng)，從而增加測量誤差。為了解決這些問題，DI 100 動(dòng)態(tài)干涉儀采用了“動(dòng)態(tài)干涉測量”技術(shù)，無需機(jī)械移動(dòng)參考平面，一次圖像數(shù)據(jù)采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機(jī)的每個(gè)像素進(jìn)行相移，可以穩(wěn)定地收集數(shù)據(jù)，并且由于一次測量的時(shí)間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動(dòng)等而發(fā)生變化之前的瞬間進(jìn)行測量。

產(chǎn)品特性

*動(dòng)態(tài)干涉儀具有較強(qiáng)的抗干擾能力,能夠在振動(dòng)、溫度變化、氣流等復(fù)雜環(huán)境中保持穩(wěn)定的測量結(jié)果。

*動(dòng)態(tài)干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)測量,適用于高速、動(dòng)態(tài)的測量場景。

*超長光路的測量,通過結(jié)合補(bǔ)償法,可以克服超長光路造成的振動(dòng)和大氣擾動(dòng)的影響,實(shí)現(xiàn)超大口徑凹/非球面的精密檢測。
*動(dòng)態(tài)干涉儀通過優(yōu)化光柵設(shè)計(jì)和光路設(shè)置,提高了光能量的利用率,解決了普通二維光在動(dòng)態(tài)干涉術(shù)中光能量利用不足的問題。
*動(dòng)態(tài)干涉儀通過改進(jìn)光路設(shè)計(jì),如使用Twin-PBS結(jié)構(gòu),可以有效消除測量光路中PBS膠合層所引入的寄生條紋誤差。

*動(dòng)態(tài)干涉儀可以測量多個(gè)物理參數(shù),如位移、氣流等,提供全面的測量數(shù)據(jù)。

D1 100

  D1 100測量軟件

產(chǎn)品型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)